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加快产品开发和缩短上市时间至关重要,因为错失技术窗口或技术落后的代价可能极其昂贵。随着每个新技术节点的设计和集成复杂性的增加,电路编辑工具对于管理成本、避免计划延迟和优化产品性能和功能具有战略重要性。
利用合适的工具、工作流程和技术,电路编辑可以帮助公司 减少光刻板旋转、快速进行原型设计并在计划中支持客户设计。
Thermo Scientific Centrios 和 Centrios HX 电路编辑系统专为复杂的半导体电路编辑而设计,让当今和未来的半导体器件具有行业领先的精度、控制和性能。
Centrios HX 电路编辑系统专为极先进的前向和反向编辑功能而设计,具有极佳的编辑控制、精度和稳定性。
Centrios HX 系统采用全新的 Thermo Scientific Celta 聚焦离子束 (FIB) 柱,在低束电流和低着陆能量下实现高分辨率,以便您准确编辑并极大限度地减少电路损坏。Centrios HX 系统采用创新的双喷嘴气体输送系统,结合极广泛的化学品产品组合以及较新的 FIB 技术,可实现行业领先的高精度蚀刻和快速、高效的编辑。
Centrios 电路编辑系统采用了经现场验证的 Thermo Scientific Tomahawk WDR 离子柱,其性能强大且拥有成本高。Centrios 系统可为当今成熟的工艺节点实现精准的前向和反向编辑、快速原型设计以及硅片调试和修复。
Centrios 系统 - 在低束电流下达到高分辨率,以便采用经现场验证的 Thermo Scientific Tomahawk WDR FIB 柱和较新的束轮廓改进进行高效、安全编辑。
Centrios HX 系统 - 在较低束电流下达到高分辨率,以便采用新型 Thermo Scientific Celta FIB 柱和较新的束轮廓改进进行高效、安全编辑。
使用同时双喷嘴气体输送系统和专有气体化学产品组合,实现高深宽比过孔的平面性/均匀性、去层/刻蚀停止和高锐度创建。
Centrios 和 Centrios HX 电路编辑系统专为电路编辑设计,可集成关键组件(如气体化学法输送),从而实现优化的手动和自动化应用。
用于导航的 Thermo Scientific NEXS CAD 软件和 Thermo Scientific iFAST 软件可定制自动化,提高效率和易用性。
Centrios 系统 | Centrios HX 系统 | |
离子柱 |
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图像分辨率 |
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射束电流 |
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载物台 |
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终点检测 |
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