Apreo ChemiSEM 系统特色

为每位用户和每份样品增强了 SEM 成像性能

Thermo Scientific Apreo ChemiSEM 系统由于同时在镜筒内检测和出色的成像结果，可为许多不同材料提供高性能。复合透镜过滤器和出色的成像策略进一步提高了其处理各种具有挑战性应用的能力。

用于生物医学应用的氧化铝，通过 Trinity 检测系统表征。同步镜筒内检测提供出色的下孔可见性，可收集不同深度的信息。
低的加速电压与射束减速相结合，可提供增强的地形细节和进一步提升分辨率性能。左侧是磷酸钴颗粒的细节，右侧是氧化镁颗粒的细节。Acc 电压 500 V，电子束电流分别为 6.3 pA 和 25 pA。

优化的分析解决方案

Thermo Scientific ChemiSEM 技术 具有先进的 EDS 功能和相分析功能，可将成像和化学表征集成到一个平台上。新开发的 TruePix 电子背散射衍射 (EBSD) 检测器提供了高速直接电子检测，具有出色的低束能量性能和单颗粒计数。
使用 TruePix 检测器分析变形的高熵合金。上行 IPF (X,Y,Z) 方向图；下行：颗粒， Euler 和核平均错位应变图。

化学和结构表征工作流程

Apreo ChemiSEM 系统采用新型和改进的表征方法，从形态到化学和结构组成，使您可完整的了解样品特性。使用易于使用且透明的分析软件，可快速提供数据和可靠的结果，完整了解样本结构和成分。

成像 (SEM)、化学分析 (EDS) 和结构表征 (EBSD)

自动化 SEM 成像工作流程

全新的智能帧集成 (SFI) 软件采用先进的数字增强和精准的检测器模型，可同时实现快速可靠的自动功能，以增强用户体验并进一步简化成像工作流程。

 

快速可靠的自动功能提供了便利性，使您可避免系统对齐带来的日常挑战。这些自动功能对没有专业知识而需以手动获得高分辨率结果的新手用户尤其有用。通过自动化对齐过程，这些功能可为经验丰富的操作员节省宝贵时间，使他们能够投入更多精力进行数据分析，而不是花费过多的时间来微调工具。
左：未使用 SFI 采集的图像显示了细长的氧化镁颗粒。底部：使用 SFI 采集的图像消除了伪影。加速电压：1 keV。电子束电流：50 pA。使用 T1 检测器捕获。

Apreo ChemiSEM 系统的耐用性和可靠性

Apreo ChemiSEM 系统专为承受苛刻的实验室环境而设计，可提供延长的光源寿命和可安排的常规升级。得益于专用软件工具，可以在仪器的整个使用寿命内快速解决问题，并自动提供软件更新，帮助您从投资中获得大幅度收益。

Apreo ChemiSEM 系统技术规格

 

  Apreo ChemiSEM  系统Apreo ChemiSEM S  系统
高真空 
30 kV (S/TEM) 0.7 nm0.7 nm
15 kV (BD)0.9 nm0.5 nm
15 kV (6.4 nA, WD 10 mm)-1.9 nm
1 kV1.2 nm0.9 nm
1 kV (BD)1.0 nm 0.8 nm
1 kV (BD, WD 10 mm) -1.0 nm 
低真空 (可选)
3 kV (80 Pa)1.8 nm1.8 nm
15 kV (80 Pa)1.2 nm1.2 nm

 

BD: 射束减速模式。

WD: 工作距离。除非另有说明，否则分辨率处于最佳工作距离。默认情况下，在最终安装时，系统验收测试会在 1 kV 和 30 kV 的高真空条件下，并在适用的情况下开启浸泡功能，以验证分辨率。

 

检测器

  • Trinity 检测系统（透镜内和镜筒内）
    • T1 分段式下镜筒内检测器
    • T2 上透镜内检测器
    • T3 镜筒内检测器（可选配）
  • ETD：Everhart-Thornley SE 检测器
  • DBS：可伸缩分段式镜下 BSED (可选)
  • 低真空 SE 检测器 (可选)
  • DBS-GAD: 采用透镜安装的气体分析 BSED (可选)
  • STEM 3+ 可伸缩分段式检测器 (BF、DF、HADF、HAADF) (可选)
  • IR-CCD
  • Thermo Scientific Nav-Cam™ 摄像机 (安装腔室型)

 

ChemiSEM 技术

  • TrueSight 和 TrueSight Pro；检测器尺寸：25 或 70 mm2
  • 分辨率高达 125 eV Mn Κα₁@10,000 cps
  • 全自动插入和缩回，带快门，操作安全
  • 超级插入位置，可实现较大的稳固角度和吞吐量
  • 检测范围： Be-Am
  • 低至硅的轻元素灵敏度 (Si Lα)

 

TruePix 探测器

  • 基于 Timepix 技术的混合像素化直接电子检测器 EBSD 系统
  • 零读数噪声，高信背比
  • 透镜/光纤耦合或磷光体而零失真
  • 单电子计数
  • 灵敏度低至 4 keV
  • 2000 FPS 最大吞吐量
  • 在 Ni 上的灵敏度相当于 >3000 pps/nA
  • 完全集成到 Thermo Scientific xTal View 软件中，可进行在线与离线分析
  • SEM、EDS 和 EBSD 功能之间的无缝工作流程

 

系统、样品支架和舱室

  • 着陆能量范围：20 eV 至 30 keV
  • 射束减速，载物台偏倚范围为 –4,000 V 至 +600 V
  • 可选低真空模式 (10–500 Pa 腔室压力)
  • 载物台：Eucentral 测角仪载物台，5轴，电动； XY 方向移动 110 x 110 mm，倾斜 –15°/+90°；0°倾斜时最大样品重量高达 5 kg
  • 电子束电流范围：1 pA 至 50 nA (也可配置为 400 nA)
  • 样品支架：标准一款多用途支架以独特方式直接安装在载物台上，容纳多达 18 个标准样品托 (12 mm 直径)、三个预倾斜样品托、交叉切片样品，和两个预倾斜排杆支架（可选）（38° 和 90°），无需工具即可上样
  • 容器腔室：340 mm 内径，12 个端口，与载物台倾斜轴正交的共平面 EDS/EBSD

For Research Use Only. Not for use in diagnostic procedures.